報道:中芯國際正在測試首款國產(chǎn)DUV光刻機
:9月17日, A股早盤光刻機概念股高開,盤中持續(xù)走強。個股方面,永新光學、波長光電雙雙漲停,國林科技、蘇大維格、茂萊光學、新萊應(yīng)材、藍英裝備等漲幅領(lǐng)先。
消息面上,有報道援引知情人士透露,中芯國際正在測試由上海初創(chuàng)公司宇量升制造的首款國產(chǎn)深紫外光刻機。
正在測試的這款機器采用的是浸沒式技術(shù),類似于阿斯麥采用的技術(shù)。知情人士表示,盡管中芯國際的試驗初步結(jié)果令人鼓舞,但目前尚不清楚該機器是否以及何時能用于大規(guī)模芯片生產(chǎn)。
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